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    測量真空泵真空度需要的幾個條件

    當我們了解真空泵的真空是如何獲得,真空系統如何組成之后,還必須知道真空泵真空度的高低是如何測量的,其中真空測量儀器是真空技術的重要部分之一。目前真空技術應用的壓力范圍是1.013x105~1.3x10-11Pa (760~10-13Torr),至今還沒有一種儀器能夠測量整個壓力范圍,而是根據壓力的大小,選擇不同類型的真空計去測量。真空計有時是測量氣體的絕對壓力,但在多數情況下是利用與壓力有關的物理現象來表征壓力的大小,即測量隨氣體壓力變化而變化的參數,如氣體的熱傳導,氣體的粘性、密度或電離能等,然后換算成壓力。
    根據真空測量的特點對真空計提出一些要求:
    (1)量程盡量寬些,便于測量;
    (2)要有足夠的精度,對外界條件如溫度變化,振動、電磁場等不敏感;
    (3)能夠連續測量、有利于實現壓力的自動記錄和真空系統的自動控制;設備簡單,操作方便。真空計的種類很多,在塑料真空鍍膜中常用的有熱傳導真空計和電離真空計。

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