在旋片式真空泵工作時，油蒸氣會逆著氣流運行方向進入旋片式真空泵口，通過入口管路最終進入被抽容器。油蒸氣的返流童隨壓力的降低而增加，在極限壓力附近時，返流雖最大。返流油蒸氣主要由泵油中最輕餾分組成。
油的返流會污染真空室.影響最終產品的質量，必須加以控制。防止油返流的措施主要如下。
①在旋片泵泵入口管路上設置放氣閥。使入口壓力維持在10Pa或更高。這樣可以減小返流98%.
②對干單級泵.在泵運轉時打開氣鎮閥就能很好地防止油的返流。
③在泵入口設置吸附阱，依靠吸附劑吸附返流蒸氣。粒狀活性氧化鋁可以吸附99%的返流油熱氣。這種吸附阱需定期更換吸附劑，以防吸附材料因吸氣能力達到飽和而失效。
④使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很小，但由于價格較貴，因此影響到它們的廣泛使用。
