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    本站關鍵字:水環真空泵 水環式真空泵 旋片真空泵 旋片式真空泵

    電真空器件中排氣臺對真空系統的要求

    電真空器件的排氣是在排氣臺上進行的。對于微波管的排氣臺來說,根據烘箱的種類可以分為普通排氣臺(單真空排氣臺)和雙真空排氣臺;根據所能達到的真空度也可以分為高真空排氣臺和超高真空排氣臺。不論哪種排氣臺,一般都應該包括真空抽氣系統、真空測量裝置、加熱去氣設備、電源及控制機構等部分。

    真空系統是排氣臺的核心部分,器件內部的空氣依賴真空系統抽走并達到一定真空度。真空系統由真空泵、連接管道、真空閥門以及輔助裝置等組成。

    對真空系統的要求

    對真空系統的一般要求是:

    (1)真空度要求。對真空系統最基本的要求就是能達到所需要的真空度,包括系統本身的極限真空度和被抽器件所能達到的真空度。一般來說,器件內部能達到的真空度低于系統的極限真空度,所以選擇排氣臺真空系統時,應該保證系統的極限真空度比器件所要求的真空度高。

    系統的極限真空主要取決于真空泵的極限真空度,真空系統的密封性和去氣的徹底性。

    (2)系統應該具有所需要的抽氣速率。抽速的大小決定了器件排氣的時間,提高抽速就可以縮短排氣時間,提高勞動生產率。金屬結構的微波管在排氣中會放出大量氣體,也必須有足夠的抽速及時把零件放出的氣體排走,減少其他零件再次吸附氣體和引起陰極中毒的可能。但是,抽速應與被抽器件的容積相適應,過大的抽速會增加設備成本以及水、電等消耗,相應增加器件的成本,造成浪費。

    系統的抽速不僅取決于真空泵的抽速,還與系統的連接管道以及真空閥門等零件的導通能力有關。

    (3)真空系統應該結構簡單、可靠,盡可能操作維護方便,希望噪聲低、無污染、成本低。

    為了滿足上述要求,必須根據器件的大小、復雜程度、所用材料等實際情況,綜合考慮各方面的因素,合理選擇真空泵、真空計、真空閥門、真空管道以及其他裝置。


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