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    飛魯真空泵和真空系統

    凡能產生真空的設備通稱為真空泵,常用的有機械泵、擴散泵、吸附泵和鈦泵。真空泵的性能主要用抽氣速率和極限真空度兩個量來描述。機械泵和擴散泵都要用特種油作為工作物質.因而要防止研究對象對油及油對研究對象的污染。由于這兩種泵價格低廉,是實驗室中最常用的。機械泵抽氣速率很高,但只能產生0.1333-1.333Pa的低真空。擴散泵必須用機械泵作為前級泵,可獲得優于1.333 x10-6~1.333x10-3Pa的高真空。吸附泵和鈦泵都屬于無油泵.不存在油蒸氣的污染問題,二者串聯使用時可獲得優于1.333x 10-7Pa的超高真空。

    真空系統主要包括3個部分:真空產生、真空測量和真空使用?筛鶕枰M行合理的組裝。要安裝一個良好的真空系統,是一個復雜而又精細的工作,這里只作簡單介紹,詳細資料請查閱真空技術有關專著。在材料及部件的選擇上主要取決于真空度。實驗室中常用玻璃材料吹制真空系統,而一般商品設備則多用金屬材料。選用機械泵時要注意它的真空度和抽氣速率需與擴散泵匹配。系統真空度的測量可按所需的址程選用真空計。目前常用直讀式復合真空計,具體的使用方法可參閱各種型號儀器說明書。


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