在擴散泵發展初期，多用汞做為工作液。但由于汞在室溫下具有高達2x10-3托的飽和蒸汽壓，故必須配以冷阱，以降低飽和蒸汽壓，較為麻煩.且汞有毒，故后來多采用有機油類做為工作液。做為工作液的油類，必須滿足下列要求:
(1)在室溫下的飽和燕汽壓足夠低，以提高泵的極限真空度。
(2)在加熱工作的沮度下具有高的飽和蒸汽壓，以能得到高濃度的蒸汽。
(3)熱穩定性、化學穩定性及抗氧化性好。
擴散泵油主要有兩類，一類是混合物油，一類是單質油。
常用的混合物油多是石油烴類，是分餾石油產品得到的。
重要的單質油有硅油及全氛聚醚等。硅油即有機硅樹脂，是由人工合成的。
